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도핑되지 않은 다결정 다이아몬드 박막의 전계방출기구 조사
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  • 도핑되지 않은 다결정 다이아몬드 박막의 전계방출기구 조사
저자명
심재엽,지응준,송기문,백홍구
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1999년|8권 |pp.417-424 (8 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In order to investigate field emission mechanism of undoped polycrystalline diamond films, diamond films with different structural properties were deposited by varying positive substrate bias and/or $CH_4$ concentration. When increasing $CH_4$ concentration and positive substrate bias voltage, nondiamond carbon content in diamond films increased. Increase of nondiamond carbon content with increasing substrate voltage is ascribed to increase of substrate and excess generation of $CH_n$ radicals. Field emission properties of undoped polycrystalline diamond films ere significantly enhanced with increasing nondiamond carbon content. For diamond films with a small amount of nondiamond carbon, electrons are emitted through diamond surface while for the films with a large amount of nondiamond carbon, electron emission occurs through diamond bulk as well as surface. From this study, depending on nondiamond carbon content two field emission mechanisms were suggested.