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Double rectangular spiral thin film inductor의 제조에 관한 연구
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  • Double rectangular spiral thin film inductor의 제조에 관한 연구
저자명
김충식,신동훈,정종한,남승의,김형준
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1999년|8권 |pp.461-464 (4 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Planar type thin film inductors have a potential for the application of miniaturized DC-DC converters. For those high current applications, the magnetic film with high current capability is required. The current capability of magnetic films is mainly determined from high saturation magnetization (4$piM_s$) as well as large anisotropy field $(H_k)$. We fabricated a double rectangular spiral thin film inductor which consist of magnetic layer, coil and insulator. Highest inductance values as well as best frequency characteristics can be obtained from 5 MHz and quality factor exhibit about 7.