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에피탁시 $BaTiO_3$박막의 승온중 in-situ 구조분석
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  • 에피탁시 $BaTiO_3$박막의 승온중 in-situ 구조분석
저자명
김상섭,제정호
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1999년|8권 2호|pp.111-115 (5 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The structural characteristics of an epitaxial $BaTiO_3$ film on MgO(001) grown by sputtering were studied as a function of temperature using in-situ, real time synchrotron x-ray scattering experiments. We found that the as-grown film was single c-domain but strained at room temperature and tetragonally distorted with the c-axis normal to the film surface. Interestingly, its lattice parameters were found to be expanded in both the in-plane and the out-of -plane directions, i.e. biaxially, comparing with those of a bulk $BaTiO_3$ . More importantly, as it was heated up to $600^{circ}C$, the tetragonal structure was kept up through without and any phase transition, which is usually observed in other epitaxial ferroelectric thin films.