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헬리콘 플라즈마에서 이온 펌핑 효과의 영향에 대한 수치적 해석 연구
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  • 헬리콘 플라즈마에서 이온 펌핑 효과의 영향에 대한 수치적 해석 연구
저자명
조수원,박인호,최성을,권명회
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1999년|8권 |pp.353-360 (8 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The global balance model is applied to investigate the transient behavior of the electron density and temperature in helicon plasmas. The power absorption calculated from the solutions of the Maxwell equations is used in solving the power balance equation. A balance model for the neutral gas is also considered to fins its density self-consistently. It is turned out that the numerical results reasonably explain consequences of the ion pumping effect including the occurrence of two distinct modes of pulsed helicon discharge which have been observed experimentally. The behavior of the discharge parameters are fond to be primarily dependent on the power absorption and the gas flow rate, but the pressure controls the electron density and temperature of the final steady state as well as the transient state even with the same flow rate. Finally, it is shown that the electron density virtually the linear relationship between the density and the magnetic field is retained for a higher pressure when the effect of the ion pumping is negligible.