오존발생기에 사용되는 세라믹 방전판 상하면에 패턴된 전극간에 일어나는 연면 코로나 방전의 주파수 특성에 대하여 측정하였다. 암류방전 경우와 연면코로나 방전 경우의 주파수 특성에 대하여 비교하였다. 효율적인 오존발생에 필요한 코로나방전을 위해서는 공진주파수로 스위칭 시키는것 보다는 공진주파수의 수분의 1로 스위칭 시킨후 공진을 이용하여 스위칭 파형을 체배 시키는 것이 방전판에서의 전계의 분포를 불균일하게 하는데 효율적인 것을 알 수 있었다. 공진주파수의 1/5의 주파수로 스위칭 시킬때 오존발생효율은 28㎎/W인 것으로 측정되었다.
The frequency characteristics of surface corona discharge from the electrodes on the ceramic substrate ozonator were investigated. The frequency characteristics of dark current were compared with that of corona discharge. Switching frequency which was the fraction of resonant frequency was found to be effective for corona discharge. This is regarded to distort the electric field distribution on the discharge plate which is essential for corona discharge. The measurement showed the efficiency of 28mg/W ozone generation when the switching frequency was 1/5 of the resonant frequency.
