통상적으로 삼단 적층 테이블은 수 cm에서 수십 cm까지 이송하는 작업영역에 주로 사용되나 작업영역에서 비해 차지하는 공간이 큰 단점이 있다. 최근에는 산업현장에서 테이블이 단소 경박하면서 작업영역이 $5mm{ imes}5mm$이내이고 위치제어 정밀도가 최소 ${pm}4{mu}m$정도의 고정밀 위치제어용 테이블이 요구되고 있다. 본 논문은 이런 요구에 부응하여 고정밀 위치제어용 병렬 $XY{ heta}$테이블을 설계 제작하며 고정밀 위치제어를 위해 새로운 전동 리니어 액추에이터와 화상처리 알고리즘을 제안한다. $XY{ heta}$의 자유도를 갖도록 테이블 베드의 단일 평면상에 액추에이터를 수평방향으로 한 개 수직방향으로 두 개를 설치한다. 두 대의 CCD 카메라를 이용한 화상처리 알고리즘은 테이블 위에 놓인 패널을 목표 지점으로 고정밀 위치제어를 수행한다. 제작된 테이블로 상기의 작업영역과 위치제어 정밀도를 충족시켜 주는 실험 결과를 얻을 수 있었다.
To achieve precision positioning, working area is required within $5mm{ imes}5mm$ and positioning error is allowed within minimum ${pm}4{mu}m$. As a general three-layered table takes working range from several centimeters and a few tens of centimeters, it has disadvantages compared with precision positioning table, such as larger working range and rough accuracy. In this paper we design and implement a parallel $XY{ heta}$ table with three linear actuators, where one is on the horizontal direction and the others on the vertical direction on behalf of a degree of $XY{ heta}$ freedom. Finally, the experimental results of precision positioning is showed by using new image processing algorithms with two CCD cameras.
