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상용전원 평행판전극 방전장치에서 수소플라스마의 가시광선스펙트럼
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  • 상용전원 평행판전극 방전장치에서 수소플라스마의 가시광선스펙트럼
저자명
최운상,지택상,강성수,Choi. Woon Sang,Ji. Taek Sang,Kang. Sung Soo
간행물명
한국안광학회지
권/호정보
1999년|4권 1호|pp.15-20 (6 pages)
발행정보
한국안광학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

상용전원을 사용한 평행판전극 방전장치에서 수소플라스마로부터 방사되는 가시광선의 스펙트럼을 분광기로 조사하였다. 기체압력과 방전전력에 따라 수소플라스마로부터 방사되는 가시광선의 세기를 조사하고, 같은 조건에서 탐침으로 플라스마밀도를 측정하여 가시광선의 세기와 비교하였다. 측정결과, 가시광선의 세기는 플라스마의 밀도에 영향을 받으며, 플라스마 밀도는 기체압력과 방전전력에 영향받았다.

기타언어초록

Visible light spectrum emitted from $H_2$ plasma in the parallel plate reactor using a commercial electric power are investigated by optical emission spectroscopy. Intensity of visible light is measured as a function of $H_2$ pressure and discharging power, and the intensity is compared with plasma density measured with the probe. As a result, the intensity is affected by plasma density and the plasma density is controlled the $H_2$ pressure and the discharging power.