- 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 Ti-Al-V-N 박막의 미세조직 및 부착특성에 관한 연구
- The microstructure and adhesive characteristics of Ti-Al-V-N films prepared by reactive magnetron sputtering
- ㆍ 저자명
- 손용운,이영기,Sohn. Yong-Un,Lee. Young-Ki
- ㆍ 간행물명
- 열처리공학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1999년|12권 3호|pp.199-205 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국열처리공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
