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실리콘 표면처리에 있어서 이온교환 막에 의한 금속불순물의 제거공정
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  • 실리콘 표면처리에 있어서 이온교환 막에 의한 금속불순물의 제거공정
  • Removal Process of Metallic Impurity for Silicon Surface Detergent by Ion Exchange
저자명
연영흠,최성옥,정환경,남기대,Yeon. Young-Heum,Choi. Seung-Ok,Jeong. Hwan-Kyung,Nam. Ki-Dea
간행물명
한국유화학회지
권/호정보
1999년|16권 1호|pp.75-81 (7 pages)
발행정보
한국유화학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

HF purification performance of an ion exchange membrane(IEM) was evaluated with 0.5% HF spiked with 10ppb of Fe, Ni and Cu nitrates. The result show that after less than five turnovers through an IEM, the metallic impurity concentration drops below 1ppb. The decrease rate can be fitted to a model assuming the experimental tanks to be continuously stirred tank reaction and that the metallic impurity concentration after the IEM is a function of the single-pass purification efficiency of the membrane, the concentration before purification and the metals desorbed form the IEM. The Concentration after purification was investigated up to a cumulative Fe loading of 300ppb in the 23 liter recirculated loop. It increases linearly vs. cumulative loading and can be explained by the Langmuir theory resulting in a purification efficiency at the equilibrium of close to 99.5% in this loading regime.