- 실리콘 표면처리에 있어서 이온교환 막에 의한 금속불순물의 제거공정
- Removal Process of Metallic Impurity for Silicon Surface Detergent by Ion Exchange
- ㆍ 저자명
- 연영흠,최성옥,정환경,남기대,Yeon. Young-Heum,Choi. Seung-Ok,Jeong. Hwan-Kyung,Nam. Ki-Dea
- ㆍ 간행물명
- 한국유화학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1999년|16권 1호|pp.75-81 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국유화학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
