- 박막 히터형 유량센서의 온도보상
- ㆍ 저자명
- 김형표,Kim. Hyung-Pyo
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2000년|9권 4호|pp.268-273 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본 논문은 박막 히터형 유량센서의 온도보상을 위해 초기 불평형 전압을 이용한 새로운 온도보상 방법을 사용하였다. 온도보상을 위해서 본 논문에서는 휘스튼 브릿지의 비를 다르게 하는 방법으로 오픈루프에서 초기 불평형 전압을 온도에 따라 나타낸 그래프를 이용하여 센서 회로의 저항값을 구하는 방법을 사용하였다. 공기 온도가 $-20^{circ}C{sim}120^{circ}C$ 범위에서 온도 보상을 실시한 결과 ${pm}1%$이내의 온도 오차가 발생하여, 정밀한 박막 히터형 유량 센서를 제작할 수 있었다.
This paper represents a hot-film flow sensor which is compensated by a noble temperature compensation method using the initial unbalanced voltage. The resistance value of the sensor is determined by using the graph of the initial unbalanced voltage of an open-loop circuit against the air temperature. The compensation is accomplished by applying the unbalanced ratio of the resistors in the Wheastone bridge circuit. In the range of air temperature of $-20^{circ}C{sim}120^{circ}C$, the error is about ${pm}1%$.