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이동통신용 표면탄성파 필터의 내전력 특징
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  • 이동통신용 표면탄성파 필터의 내전력 특징
저자명
남효덕,김동수,김흥락,김광일,Nam. Hyo-Duk,Kim. Dong-Su,Kim. Hung-Rak,Kim. Kwang-Il
간행물명
센서학회지
권/호정보
2000년|9권 4호|pp.327-333 (7 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

중심주파수가 340MHz이고 $1.435{mu}m$의 IDT 전극 폭과 간격을 가진 양방향 전송형 SAW필터를 LN $128^{circ}$ Y-X 웨이퍼의 압전기판으로 제작하였다. 전력 내구성을 개선시키기 위한 방안으로 Al에 비해 밀도가 크고, 열팽창계수가 작으며 접착력이 좋은 Ti를 압전체기판과 전극물질인 Al 사이에 증착시켰다. Ti의 두께 및 열처리 온도가 내전력 특성에 미치는 영향을 분석하였는데, Ti층이 두꺼울수록 내전력이 개선되었으며, 특히 $300^{circ}C$에서 열처리하였을 때 가장 우수하였다.

기타언어초록

Transversal SAW(Surface Acoustic Wave) filters of 340MHz were fabricated on piezoelectric substrates of the LN $128^{circ}$ Y-X wafers. Both of spacing and width of IDT were $1.435{mu}m$. For improving the power durability characteristics, titanium layer was inserted between aluminum electrode and piezoelectric substrate since it has high density, low thermal expansion coefficient, and good adhesive properties. Power durability was evaluated with respect to the thickness of inserted titanium layer and the temperature of heat treatment. Power durability is improved with increasing the thickness of the inserted titanium layer. Moreover, it is remarkably improved by heat treatment at the temperature of $300^{circ}C$.