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정전접합을 이용한 고종횡비의 FED용 스페이서 공정 개발
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  • 정전접합을 이용한 고종횡비의 FED용 스페이서 공정 개발
저자명
김민수,김관수,문권진,우광제,이남양,박세광,Kim. Min-Su,Kim. Gwan-Su,Mun. Gwon-Jin,U. Gwang-Je,Lee. Nam-Yang,Park. Se-Gwang
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2000년|49권 1호|pp.70-72 (3 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, a spacer process for FED(Field Emission Display) was developed with the glass to glass anodic bonding technology using Al film as an interlayer and a 3.5 inch monochromatic type FED was fabricated. Holder to dislocate spacers vertically was designed with (110) Si wafer by bulk etching. Spacers, $100mum; width; and; 1000mum$ height, were formed on anode panel by spacer to glass anodic bonding and the fabricated FED was operated for emission at 1㎸ anode voltage.