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UV-LIGA 표면 미세 가공 기술과 (110) 실리콘 몸체 미세 가공 기술을 이용한 큰 종횡비의 빗모양 구동기 제작에 관한 연구
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  • UV-LIGA 표면 미세 가공 기술과 (110) 실리콘 몸체 미세 가공 기술을 이용한 큰 종횡비의 빗모양 구동기 제작에 관한 연구
저자명
김성혁,이상훈,김용권,Kim. Seong-Hyeok,Lee. Sang-Hun,Kim. Yong-Gwon
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2000년|49권 2호|pp.132-139 (8 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper reports a novel micromachining process based on UV-LIGA process and (110) silicon anisotropic etching for fabrication of a high-aspect-ratio comb actuator. The comb electrodes are fabricated by (110) SILICON comb structure considering the etch-rate-ratio between (110) and (111) planes and lateral etch rate of a beam-type structure. The fabricated structure was$ 400mum ; thick; and; 18mum$ wide comb electrodes separated by $7mim$ so that the height-gap ratio was about 57. Also considering resonant frequency of the comb actuator and the frequency-matching between sensing and driving mode for gyroscope application, we designed the number, width, height and length of the spring structures. Electroplated gold springs on both sides of the seismic mass were $15mum; wide,; 14mum; thick; and ; 500mum$ long. The fabricated comb actuator had resonant frequency ay 1430Hz, which was calculated to be 1441Hz. The proposed fabrication process can be applicable to the fabrication of a high-aspect-ratio comb actuator for a large displacement actuator and precision sensors. Moreover, this combined process enables to fabricate a more complex structure which cannot be fabricate only by surface or bulk micromachining.