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상변화 구동 방식 마이크로 펌프의 제작 및 시험
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저자명
심우영,이상우,양상식,Sim. U-Yeong,Lee. Sang-U,Yang. Sang-Sik
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2000년|49권 6호|pp.360-366 (7 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents the fabrication and test of a micropump consisting of a pair of Al flap valves and a phase-change type actuator. The actuator is composed of a heater, a silicone rubber diaphragm and a working fluid chamber. The diaphragm is actuated by the vaporization and the condensation of the working fluid. The micropump is fabricated by the anisotropic etching, the boron diffusion and the metal evaporation. The forward and the backward flow characteristics of the flap valves illustrate the appropriateness as a check valve. Also, the flow rate of the micropump is measured. When the square wave input voltage of 8 V, 70% duty ratio and 2 Hz is applied to the heater, the maximum flow rate of the micropump is $97muell/min$ for zero pressure difference.