- 다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 이용한 초소형 기계식 스위치의 설계 및 제작
- ㆍ 저자명
- 채경수,한승오,하종민,문성욱,박정호,Chae. Gyeong-Su,Han. Seung-O,Ha. Jong-Min,Mun. Seong-Uk,Park. Jeong-Ho
- ㆍ 간행물명
- 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
- ㆍ 권/호정보
- 2000년|49권 9호|pp.546-551 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
