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다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 이용한 초소형 기계식 스위치의 설계 및 제작
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  • 다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 이용한 초소형 기계식 스위치의 설계 및 제작
저자명
채경수,한승오,하종민,문성욱,박정호,Chae. Gyeong-Su,Han. Seung-O,Ha. Jong-Min,Mun. Seong-Uk,Park. Jeong-Ho
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2000년|49권 9호|pp.546-551 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A micromechanical switch that can be used as a logic gate is described in this paper. This switch consists of fixed input electrodes an output electrode Vcc/GND electrodes and movable plates suspended by crab-leg flexures. for mechanical switching of an electrical signal a parallel plate actuator which comes in contact with output electrode was used. Provided that movable plates are connected to Vcc and a low input voltage(ground signal) is applied to the fixed input electrodes the movable plates are pulled by an electrostatic force between the fixed input electrodes and the movable plates. the proposed micromechanical switch was fabricated by surface micromachining technology with$2mum$ -thick poly-Si and the measured threshold voltage for ON/OFF switching was 23.5V