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고 에너지 이온 주입된 CMOS 쌍 우물 구조의 레치업 면역성 예측을 위한 TCAD 모의실험 연구
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  • 고 에너지 이온 주입된 CMOS 쌍 우물 구조의 레치업 면역성 예측을 위한 TCAD 모의실험 연구
저자명
송한정,김종민,곽계달
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2000년|13권 2호|pp.106-113 (8 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This study describes how a properly calibrated simulation method could be used to investigate the latchup immunity characteristics among the various high energy ion implanted CMOS twin well (retro-grade/BILLI/BL) structures. To obtain the accurate quantitative simulation analysis of retrograde well, a global tuning procedure and a set of grid specifications for simulation accuracy and computational efficiency are carried out. The latchup characteristics of BILLI and BL structures are well predicted by applying a calibrated simulation method for retrograde well. By exploring the potential contour, current flow lines, and electron/hole current densities at the holding condition, we have observed that the holding voltage of BL structure is more sensitive to the well design rule (p+to well edge space /n +to well edge space) than to the retrograde well itself.