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MEMS 기술을 이용한 수은방울경사각센서 개발
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  • MEMS 기술을 이용한 수은방울경사각센서 개발
저자명
오종현,오동영,이승섭,Oh. Jong-Hyun,Oh. Dong-Young,Lee. Seung S.
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2000년|17권 8호|pp.120-125 (6 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper proposes a tilt sensor made by MEMS technology. The sensor consists of an electrode glass a small mercury drop a circular channel and a cover glass. The mercury drop is used as medium of a current flow and in contact with two circular chromel electrodes used as an angular-motion resistance When this sensor inclines the mercury drop inside the circular channel moves into the bottom under the influence of gravity. A tilt angle can be measured by changed resistance as tilting this sensor, This sensor has a linear section between +50.$^{circ}$ and -50.$^{circ}$ with the accuracy of 2.$^{circ}$. We are also studying about the enlargement of the linear section and the effect of the size of the mercury drop