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LIGA 공정을 이용한 삼면반사체 제작
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  • LIGA 공정을 이용한 삼면반사체 제작
저자명
오동영,정동관,박노열,장석상,이승섭,Oh. Dong-Young,Jung. Dong-Kwan,Park. Noh Y.,Chang. Suk-Sang,Lee. Seung-Seop
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2000년|17권 8호|pp.172-179 (8 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper a technology for the fabrication of the oblique structure using the LIGA process will be presented. The fabricated microstructure is a tetrahedral 3- facet mirror. The mirror has an equilateral triangular base of hundreds ${mu}m$ length mirror-like three side-facets inclined to the base at 45$^{circ}$ and knife edges. Two regular triangles of 45$^{circ}$ and tan-12. After development the shaded part of the PMMA the tetrahedral mirror remains, The completed mirror shows excellent aspects of mirror-like facets and knife-edges. By controlling the gap between the mask and the substrate the size of mirror easily can be changed. This mirror would be used as a laser beam splitter for the feedback control of the HDD slider.