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MCS-BE에 의한 $SF_6$+He 혼합기체의 전자수송특성 해석
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  • MCS-BE에 의한 $SF_6$+He 혼합기체의 전자수송특성 해석
저자명
하설철,송병두,유회영,김상남,백승권
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2000년|13권 4호|pp.359-364 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The paper describes the electron transport characteristics in SP$_{6}$+He gas calculated E/N values 0.1~700[Td] by the Monte Carlos simulation and Boltzmann equation method using a set of electron collision cross sections determined by the authors and the values of electron swarm parameters obtained by TOF method. This study gained the values of the electron swarm parameters such as the electron drift velocity the electron ionization or attachment coefficients longitudinal and transverse diffusion coefficients for SF$_{6}$+He gas at a range of E/N.E/N.