- 수직자기이방성 NdFeB 박막자석의 자기특성
- ㆍ 저자명
- 김만중,유권상,양재호,김윤배,김택기
- ㆍ 간행물명
- 韓國磁氣學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2000년|10권 6호|pp.280-294 (15 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국자기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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RF-DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 5$ imes$$10^{-3}$ Torr의 알곤 가스 분위기에서 [(300nm)Ta/(500nm)NdFeB/(300nm)Ta] 영구자석 박막을 제조한 후 이의 미세구조 및 자기특성을 조사하였다 650-75$0^{circ}C$로 가열된 Si 기판위에 성막한 [Ta/ NdFeB/Ta] 박막은 수직자기이방성과 함께 우수한 경자기특성을 나타내었으며, 특히 기판온도 $650^{circ}C$와 $700^{circ}C$에서 제조된 박막은 막면에 수직한 방향으로 각각 20 MGOe의 최대자기에너지적과 18.9 kOe의 큰 고유보자력을 나타내었다.
[(300nm)Ta/(500nm)NdFeB/(300nm)Ta] thin films were deposited at 5 mTorr Ag gas pressure by RF-DC magnetron sputtering, and their magnetic properties were investigated. The [Ta/NdFeB/Ta] films deposited on heated Si substrates showed high perpendicular anisotropy and excellent hard magnetic properties. The films sputtered at tile substrate temperature of T$sub$s/=650$^{circ}C$ and 700$^{circ}C$ showed (BH)$sub$max/=20 MGOe and $sub$i/H$sub$c/= 18.9 kOe along the perpendicular direction to the film plane, respectively.