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이식형 중이 보청기에 적용 가능한 Si 탄성체로 구현된 전자기 진동 트랜스듀서
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  • 이식형 중이 보청기에 적용 가능한 Si 탄성체로 구현된 전자기 진동 트랜스듀서
저자명
이기찬,이세규,박세광,조진호,이상흔,Lee. Ki-Chan,Lee. Se-Kyu,Park. Se-Kwang,Cho. Jin-Ho,Lee. Sang-Heun
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2000년|49권 10호|pp.583-588 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents the design and fabrication of micro electromagnetic vibration silicon elastic body characterized with small size, high efficiency and selective frequency bandwidth for Bio-MENS applications, such as implantable middle ear hearing aid. The presented electromagnetic vibration transducer that composed of wounded coil, permanent magnet and 4-beam cross type elastic body is fabricated by using of micromachining technology. The fabricated transducer has experimental characteristics, that is 5 nm/mA of an energy trasfer rate at the frequency range of 100∼2800 Hz. It has a size of $2{ imes}2{ imes}2.5;mm^3$.