- 초소형 렌즈 배열의 제작에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 문성욱,김희연,Moon. Sung-Wook,Kim. Hee-Youn
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|10권 6호|pp.279-285 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본 연구에서는 HNA를 이용한 Si의 bulk 식각을 통해 렌즈 모양을 갖는 몰드를 제작 한 뒤 그 위에 렌즈로 사용될 SU-8을 도포 한 다음 몰드와 렌즈를 분리시키는 방법으로 마이크로렌즈 배열을 제조하는 공정을 개발하였으며 이는 공정순서가 단순하며 경제적인 것을 특징으로 한다. Stirring 속도 800rpm 이상의 조건에서 높이 $45{mu}m$, 직경 $150{mu}m$의 높은 fill factor를 가지는 렌즈의 제작조건을 확립하였으며, 이와 같이 제작된 초소형 렌즈는 적외선 감지 소자와 같은 영상 소자나 projection display 영역에 응용되어 소자 성능을 향상시킬 수 있다.
In this study, we fabricated the microlens array using very simple and economical method which used Si molds made by bulk etching in HNA and spreaded SU-8 on top of the Si mold. And, we developed fabrication conditions for high fill factor microlens array that is $45{mu}m$ in height and $150{mu}m$ in diameter. This microlens array can be used for imaging system like IR detector or projection display. It is expected that it can improve the characteristics of these devices.