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비정질 기판위에 증착한 KLN 박막의 기판온도에 의한 영향
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  • 비정질 기판위에 증착한 KLN 박막의 기판온도에 의한 영향
저자명
박성근,최병진,홍영호,전병억,김진수,백민수
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2001년|14권 1호|pp.34-42 (9 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The influences of substrate temperature were studied when fabricating KLN thin film on amorphous substrate using an rf-magnetron sputtering method. Investigating the vaporization temperature of the each element, the excess ratio of target and the optimum deposition conditions were effectively selected when thin filmizing a material which have elements with large difference fo vaporization temperature. In order to compensate K and Li which have lower vaporization temperatures than Nb, KLN target of composition excess with K of 60% and Li of 30% was used. KLN thin film fabricated on Corning 1737 glass substrate had single KLN phase above 58$0^{circ}C$ of substrate temperature and crystallized to c-axis direction. The optimum conditions were rf power of 100W, process pressure of 150mTorr, and substrate temperature of $600^{circ}C$.