기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
인가 바이어스 조건이 전기화학적 식각정지 특성에 미치는 영향
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 인가 바이어스 조건이 전기화학적 식각정지 특성에 미치는 영향
저자명
정귀상,강경두,김태송,이원재,송재성
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2001년|14권 4호|pp.263-268 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

This paper describes the effects of applied bias conditions on electrochemical etch-stop characteristics. THere are a number of key issues such as diode leakage and ohmic losses which arise when applying the conventional 3-electrochemical etch-stop to fabricated some of he MEMS(microelectro mechanical system) and SOI(Si-on-insulator) structures which employ SDB(Si-wafer direct bonding). This work allows to perform anin situ diagnostic to predict whether or not an electrochemical etch-stop would fail due to diode-leakage-induced premature passivation. In addition, it presents technology which takes into account the effects of ohmic losses and allows to calculate the appropriate bias necessary to obtain a successful electrochemical etch-stop.