- Ni-Cr-Al-Cu계 박막저항의 전기적 특성
- ㆍ 저자명
- 이붕주,차성익,김철수,한정인,김종택,이덕출
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|14권 4호|pp.328-335 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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In this work, we made the precision thin film resistors of NiCr alloy (74wt%Ni-f18wt%Cr-4wt%Al-4wt%Cu) using DC/RF magnetron sputtering method and studied the sheet resistance and TCR(Temperature Coefficient of Resistance) etc... of the Ni-Cr-Al-Cu alloy thin film according to the change by annealing treatment to 400$^{C}$ in air and nitrogen atmosphere and the change(power, pressure, substrate temperature) of sputtering process.