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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 SBT 박막의 강유전체 특성
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  • RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 SBT 박막의 강유전체 특성
저자명
조춘남,김진사,최운식,박용필,김충혁
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2001년|14권 9호|pp.731-735 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

S $r_{0.89}$B $i_{2.4}$T $a_2$ $O_{9}$ (SBT) thin films are deposited on Pt-coated electrode(Pt/Ti $O_2$/ $SiO_2$/Si) using RF magnetron sputtering method. In the XRD pattern, the SBT thin films had (105) orientation. As annealing temperature was increased from $600^{circ}C$ to 85$0^{circ}C$, the intensities of peak were increased. In the SEM images, Bi-layered perovskite phase was crystallized above $650^{circ}C$ and rod-like grains grew above 75$0^{circ}C$. The maximum remanent polarization and the coercive electric field at annealing temperature of 75$0^{circ}C$ are 11.60$mu$C/$ extrm{cm}^2$ and 48kV/cm respectively. The dielectric constant and leakage current density at annealing temperature of 75$0^{circ}C$ are 213 and 1.01x10$^{-8}$ A/$ extrm{cm}^2$, respectively. The fatigue characteristics of SBT thin filmsdid not change up to 10$^{10}$ switching cycles.s.s.