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Ozone Density Estimation and Stable Supply in the Thin Film Growth
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  • Ozone Density Estimation and Stable Supply in the Thin Film Growth
  • Ozone Density Estimation and Stable Supply in the Thin Film Growth
저자명
Lim. Jung-Kwan,Park. Yong-Pil,Oh. Geum-Gon
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2001년|2권 2호|pp.42-45 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

An ozone condensation system is evaluated from the viewpoint of an ozone supplier for Bi-superconductor thin film growth. An ozone condenser by a selective adsorption on the silica gel surface is constructed. Ozone density is evaluated by three methods; ultraviolet absorption, thermal decomposition and Q-mass analyzing methods. Thermal decomposition method is found to be available to the density evaluation from dilute to highly condensed ozone. The highest ozone density condensed by the adsorption method is evaluated to be 97 mol%.