- Ozone Density Estimation and Stable Supply in the Thin Film Growth
- Ozone Density Estimation and Stable Supply in the Thin Film Growth
- ㆍ 저자명
- Lim. Jung-Kwan,Park. Yong-Pil,Oh. Geum-Gon
- ㆍ 간행물명
- Transactions on electrical and electronic materials
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|2권 2호|pp.42-45 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
