- $WO_3$-$SnO_2$박막 센서의 가스감지특성
- ㆍ 저자명
- 유광수,김태송
- ㆍ 간행물명
- 한국세라믹학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|38권 12호|pp.1180-1186 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국세라믹학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
고진공 저항 가열식 증발 증착기를 이용하여 약 1$mu extrm{m}$ 두께의 W $O_3$-Sn $O_2$박막 가스센서를 제작하였다. 50$0^{circ}C$에서 4시간동안 공기중 열처리한 다음, 제조된 박막의 결정성과 미세구조를 관찰하였다. 100 ppm의 산화성 가스인 N $O_2$와 환원성 가스인 CO 가스에 대한 가스 감응 특성을 측정한 결과, N $O_2$가스에 대한 감도( $R_{gas}$/ $R_{air}$)는 기판온도 25$0^{circ}C$에서 W $O_3$박막이 약 1000으로서 가장 높았으며, CO 가스 감도는 기판온도 15$0^{circ}C$~25$0^{circ}C$ 범위에서 약 0.25로 가장 양호하였다.하였다.
W $O_3$-Sn $O_2$thin film sensors with approximately 1${mu}{ extrm}{m}$ in thickness were fabricated by using a high-vacuum resistance-heating evaporator, were annealed at 50$0^{circ}C$ for 4 hours in air, and then their crystallinities and surface microstructures were analyzed. As results of gas-sensing characteristics to oxidizing gas, N $O_2$, and reducing gas, CO, of 100 ppm, the highest gas sensitivities (S= $R_{gas}$/ $R_{air}$) were the W $O_3$thin-film sensor measured at 25$0^{circ}C$ for N $O_2$(S≒1000) and the Sn $O_2$thin-film sensor measured at 15$0^{circ}C$ to 25$0^{circ}C$ range for CO (S≒0.25), respectively.ely.