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Si 다이아프램은 사용한 FFPI압력센서의 압력특성에 환한 연구
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  • Si 다이아프램은 사용한 FFPI압력센서의 압력특성에 환한 연구
저자명
정주영,김경찬,박재희
간행물명
한국광학회지
권/호정보
2001년|12권 6호|pp.463-467 (5 pages)
발행정보
한국광학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 연구에서는 생체 내부의 압력을 측정하기 위하여 Si를 얇은 막으로 사용한 FFPI(fiber optic Fabry-Perot interferometer) 압력센서를 개발하였다. 얇은 Si 막과 Si 막의 비등방 지지 구조물은 수산화 칼륨 수용액에서의 식각과 미세가공 기술로 제작하였다. 센서의 구조는 두 반사막 사이의 길이가 15mm이며 수직 절단된 센서의 끝단은 두게 50$mu extrm{m}$의 얇은 Si막에 연결하였다. 얇은 Si막의 면적이 2$ imes$2mm$^2$ 압력센서의 경우 압력감도는 -1.5 degree/kPa였다. 본 연구에서 제작한 압력센서는 80kpa의 압력 범위 내에서 압력 증가에 따라 비교적 선형적인 위상변화를 보였다.

기타언어초록

In this study, we developed a FFPI (fiber optic Fabry-Perot interferometer) pressure sensor using the Si diaphragm which measures pressure in vivo. The diaphragm and its supporting structure were etched in KOH solution and were fabricated with micromachining technology. For the configuration of the sensor, the length of the cavity of the Fabry-Perot etalon is 15 mm and one end of the etalon was bonded to a Si diaphragm with 507m thickness. When the area of the Si diaphragm was 2$ imes$2 mm2 (cavity length 15 mm), it turns out that the pressure sensitivity was about 1.5 degree/kPa. The pressure sensor developed in this study showed that the phase change was linearly proportional to the increasing pressure in the range of 80 kPa.

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