- 건식 세정기용 전원장치 개발
- ㆍ 저자명
- 김수석,원충연,최대규,최상돈
- ㆍ 간행물명
- 전력전자학회 논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|6권 5호|pp.394-399 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 전력전자학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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반도체 생산 공정에 있어, 저압 화학적 기상 증착(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)과 프라즈마 강화 화학적 기상 증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정 후 발생된 환경 유해 가스를 효과적으로 세정하기 위한 장비인 건식 세정기(dry scrubber)의 전원장치에 대한 연구이다. 주 전력회로는 1500W, 스위칭주파수 100kHz의 위상 변위 풀 브리지(Phase Shift Full-Bridge)방식의 인버터와 100kHz 저역 통과 필터 및 임피던스 변환기로 구성되었다 모드해석과 모의실험을 통하여 회로방식의 타당성을 확인하였고 50$Omega$ dummy load 및 chamber 실험을 통하여 다양한 부하조건에서도 프라즈마를 안정되게 발생시킬 수 있음을 확인하였다.
In this Paper, the development of the power supply for dry scrubber is discussed. 1500w, 100kHz power supply Is designed and tested. The main power stage is used for the FB PWM inverter with an LC filter in the secondary circuit. The operation characteristics of power supply are verified by simulation and experimental results.