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수평 구동형 정전 반발력 마이크로엑추에이터의 Creeping 유동 모델에 의한 공기 감쇠
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  • 수평 구동형 정전 반발력 마이크로엑추에이터의 Creeping 유동 모델에 의한 공기 감쇠
저자명
이기방,서영호,조영호,Lee. Gi-Bang,Seo. Yeong-Ho,Jo. Yeong-Ho
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2001년|50권 11호|pp.581-588 (8 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents theoretical and experimental study on the quality-factor of the laterally oscillated electrostatic microactuator, driven by a lateral repulsive-force generated by the asymmetry of planar electric field. The quality-factor of the repulsive-force microactuator using a creeping flow model of the ambient air is evaluated. By filling the simulation results of damping force, we evaluate the dimensionless damping force, $alpha$, thereby obtaining an analytical damping force, F, in the form of $F=mu; alphaUL,; where; mu,$ U and L denote the air viscosity, the velocity and the characteristic length of the movable electrodes. The measured quality-factor increases from 12 to 13 for the DC bias voltage increased from 60V to 140v. The theoretical quality-factor estimated from the creeping flow model increases from 14.9 to 18.7. Characteristics of quality-factor of the repulsive-force microactuator have been discussed and compared with those of the conventional attractive-force microactuator.