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레이저에 의한 Li$_2$O-A1$_2$O$_3$-SiO$_2$계 유리의 미세가공 및 광학적 특성
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  • 레이저에 의한 Li$_2$O-A1$_2$O$_3$-SiO$_2$계 유리의 미세가공 및 광학적 특성
저자명
강원호
간행물명
마이크로전자 및 패키징 학회지
권/호정보
2001년|8권 4호|pp.43-45 (3 pages)
발행정보
한국마이크로전자및패키징학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

본 연구는 레이저 처리기술에 의한 $Li_2O-A1_2O_3-SiO_2$계 유리의 미세가공과 레이저에 의한 유리의 광활성반응에 관한 것으로서, 1064 nm와 355 nm의 파장을 갖는 Nd:YAG laser를 유리에 조사하여 유리의 파괴특성 및 광학적변화를 관찰하였다. 1064 nm레이저에 의한 유리의 파괴 부분은 광학현미경과 주사전자현미경 (SEM)으로서 파괴특성을 평가하였으며, 355 nm 레이저에 의한 유리의 변화는 흡수대역은 측정함으로서 그 광학적 특성을 나타내었다. 이와 같은 레이저에 의한 가공은 유리내부의 3차원적인 미세구조물 형성이나, internal waveguide, 또는 광 흡수대역의 변화에 따른 광기록방법으로 응용될 것으로 예상된다.

기타언어초록

For photosensitive and micro-structuring in $Li_2O-A1_2O_3-SiO_2$glasses by laser treatment, Nd:YAG laser in 355 nm and 1064 nm wavelength was irradiated to the glass to investigate fracture characterization and optical changes. The fractured glass surfaces irradiated by 1064 nm laser was observed by Scanning Electron Microscope(SEM) and optical microscope, and optical changes caused by 355 nm later was identified from absorption spectra. In this study, it could be expected that the laser treatment technology will be utilized for 3-dimensional micro-structure, internal waveguide, optical memory by optical absorption changes in glass matrix.