- 자기장 내 열처리에 의한 퍼멀로이 박막의 일축 이방성 자기장의 회전에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 송용진,김기출,이충선
- ㆍ 간행물명
- 韓國磁氣學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2001년|11권 4호|pp.163-167 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국자기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 700 $AA$의 NiFe 박막을 박막 증착시 형성시킨 자화용이축에 수직한 자기장을 인가하여 열처리한 후 일축 이방성 자기장의 회전을 조사하였다. NiFe 박막은 열처리온도 160 $^{circ}C$에서 자화용이축과 자화곤란축을 구분할 수 없는 등방적인 상태가 되었고, 열처리온도가 증가함에 따라 다시 일축 이방성을 갖는 상태가 되었다. 열처리 온도가 400 $^{circ}C$ 이상인 경우에 급격한 보자력의 증가를 보였다. 열처리 온도가 400 $^{circ}C$인 경우에 XRD 분석과 AES depth profile은 NiFe 박막 내에서 (111) 방향으로 결정성장이 활발히 일어나며 인접한 전극 Au와 상호화산 현상도 광범위하게 일어남을 보여주었다.
The rotation of uniaxial anisotropy field of 700 ${AA}$ thick sputtered NiFe thin film due to magnetic annealing was investigated. NiFe film was annealed in a magnetic field which is perpendicular to the initial induced uniaxial anisotropy field. The NiFe film becomes nearly isotropic after 1 hour annealing at 160 $^{circ}C$. With increase of annealing temperature over 160 $^{circ}C$, the film gets uniaxial anisotropy field again. An abrupt increase of H$sub$c/ was observed with annealing temperature over 400 $^{circ}C$. The X-ray diffraction analysis and Auger electron spectroscopy with Ar ion etching showed extensive grain growth in NiFe film with (111) texturing and interdiffusion with adjacent Au electrode layer by 400 $^{circ}C$ magnetic annealing.