Mach-Zehnder 간섭기를 이용한 Ti:$LiNbO_3$ 진행파 광변조기를 설계 및 제작하였다. FDM을 이용하여 광도파로의 최적 설계치를 추출하였다. CPW 진행파전극의 MW 유효굴절률 및 특성임피던스를 정합시키기 위하여 taper 영역의 입·출력단에서는 CMM을, 변조영역에서는 FEM으로 설계를 수행하였다. 제작된 소자의 MW 특성으로는, S 파라미터로부터 감쇠상수 ${alpha}_m$=0.05426 $sqrt{f}$, MW 유효굴절률 $N_{eff}$=2.2025, 특성임피던스 $Z_c$=39 ${Omega}$이 추출되었다. MW 특성으로부터 계산한 주파수응답 $R({omega})$의 3 dB 변조대역폭은 ~10GHz으로 예측되었다.
Mach-Zehnder type traveling-wave Ti：LiNb $O_3$ optical modulators were designed and fabricated. Optimum parameters of optical waveguides were calculated by means of the FDM. Design of CPW traveling-wave electrodes were performed by the FEM in the active region and by the CMM in the input/output section to obtain the conditions of MW effective index and impedance matching. From the measured S parameters, MW characteristics of the traveling-wane electrodes were extracted to be ${alpha}_m$=0.05426 $sqrt{f}$, $N_{eff}$=2.2025, and $Z_{c}$=39 ${Omega}$. The calculated optical response R($omega$) showed the 3 dB bandwidth of 10 GHz.z..
