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이온 플레이팅법으로 제조한 (Ti$_{1-x}$Cr$_{x}$)N 박막의 마모특성에 관한 연구
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  • 이온 플레이팅법으로 제조한 (Ti$_{1-x}$Cr$_{x}$)N 박막의 마모특성에 관한 연구
저자명
이광희,박찬홍,이정중
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2001년|34권 2호|pp.125-134 (10 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

($Ti_{1-x}$ $Cr_{x}$ )N coatings were deposited by an ion-plating method in a reactor with two separate metal sources, Ti and Cr. Ti was evaporated using an electron beam, while Cr evaporation was carried out by resistant heating. The Ti and Cr concentrations in the coatings were controlled by the Ti and Cr evaporation ratio. The coating hardness increased with increasing the Cr content(x) and showed a maximum value of 6,000 HK at around x=0.8. The critical load of the coatings, measured by the scratch test, was around 30 N. The wear resistance properties of the ($Ti_{1-x}$$Cr_{ x}$)N coatings were evaluated using a CSEM pin-on-disk type tribometer. A Cr-steel ball as well as a SiC ball, which had hardness values of 590 HK and 2,600 HK respectively, were used as the pin. After the wear test, the surface morphology, roughness and the concentration of the coatings were investigated, with the main focus being on the effect of wear debris and the transferred layer on the wear behavior.