본 논문에서는 다중모드 간섭이론(MMI : multimode interference)을 $Ag^+-Na^+$ 이온교환 방식에 적용하여 BK7 유리에 1${ imes}$2, 1${ imes}$4, 1${ imes}$8 MMI 광파워 분리기를 설계 제작하였다. 소자를 제작하기 전에 채널형 도파로의 굴절률 분포와 MMI 광파워 분리기의 다중모드 영역의 폭과 다중모드 영역의 길이를 결정하였다. 다중모드 영역의 길이는 1${ imes}$2 MMI : 887${mu}m$, 1${ imes}$4 MMI: 1666${ imes}$, 1${ imes}$8 MMI : 1834${mu}m$이고, 다중모드 영역의 폭은 1${ imes}$2 MMI : 40${mu}m$, 1${ imes}$4 MMI : 80${mu}m$, 1${ imes}$8 MMI : 120${mu}m$였다. 제작된 소자들은 1.50~1.58${mu}m$파장 범위 내에서 1${ imes}$2 MMI의 경우 1.4dB, 1${ imes}$4 MMI의 경우 1.7dB, 1${ imes}$8 MMI의 경우 약 2dB의 광파워 불균형비를, 그리고 손실은 1${ imes}$2 MMI의 경우 0.96[dB}, 1${ imes}$4 MMI의 경우 2.29[dB], 1${ imes}$8 MMI의 경우 1.67[dB]였다.
The 1${ imes}$2, 1${ imes}$4 and 1${ imes}$8 multimode interference(MMI) optical power splitters are fabricated by using $Ag^+-Na^+$ ion exchange on BK7 glass. Before fabricating the MMI optical power splitters, we find the refractive index of the channel waveguide and calculate the multimode section length and width. The multimode section lengths and widths are 887${mu}m$, 1666${mu}m$ and 1834${mu}m$ and 40${mu}m$, 80${mu}m$ and 120${mu}m$ for 1${ imes}$2, 1${ imes}$4 and 1${ imes}$8 MMI optical power splitters respectively. The measured properties of the fabricated MMI optical power splitters show that the unbalance ratios of the 1${ imes}$2, 1${ imes}$4 and 1${ imes}$8 MMI optical power splitters are 1.4[dB], 1.7[dB] and 2.0[dB] and the excess losses of those sre 0.96[dB], 2.26[dB] and 1.67[dB]. respectively.
