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전자군 방법에 이용되는 2항근사와 다항근사 볼츠만 방정식의 적용
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  • 전자군 방법에 이용되는 2항근사와 다항근사 볼츠만 방정식의 적용
저자명
하성철,전병훈
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2002년|15권 1호|pp.79-84 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

An accurate cross sections set is necessary for the quantitatively understanding and modeling of plasma phenomena. By using the electron swarm method, we determine an accurate electron cross sections set for objective atoms or molecule at low electron energy range. It is general calculation that used in this method to an two-term approximation of Boltzmann equation. But it may give erroneous transport coefficients for CF$_4$ molecule treated in this paper having `C2v symmetry`, therefore, multi-term approximation of the Boltzmann equation analysis which can consider anisotropic scattering exactly is carried out. It is necessary to require understanding of the fundamental principle of analysis method. Therefore, in this paper, we compared the electron transport coefficients(W and ND$\_$L/) in pure Ar, O$_2$, and CF$_4$ gas calculated by using two-term approximation of the Boltzmann equation analysis code uses the algorithm proposed by Tagashira et al. with those by multi-term approximation by Rubson and Ness which was developed at James-Cook university, and discussed an application and/or validity of the calculation method by comparing these calculated results.