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2-종모드 레이저를 이용한 고분해능 헤테로다인 간섭계
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  • 2-종모드 레이저를 이용한 고분해능 헤테로다인 간섭계
저자명
김민석,김승우,Kim. Min-Seok,Kim. Seung-Woo
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2002년|19권 4호|pp.195-201 (7 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We propose a new scheme of high-resolution heterodyne interferometer that employs the two-axial mode He-Ne laser with an inter-mode beat frequency of 600~1000 MHz. An electronic RF-heterodyne circuit lowers the beat frequency down to 5 MHz, so that the phase change of the interferometer output is precisely measured with a displacement resolution of 0.1 nanometer without significant loss of dynamic bandwidth. A thermal control scheme is adopted to stabilize the cavity length with ainus to suppress frequency drifts caused by the phenomena of frequency pulling and polarization anisotropy of the two-axial made laser to a stability level of 2 parts in $10^9$. The two-axial mode HeNe laser yields a high output power of 2.0 mW, which allows us to perform multiple measurements of up to 10 machine axes simultaneously.