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MOD 법으로 제작된 Bi3.25La0.75Ti3O12 박막의 강유전 특성
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  • MOD 법으로 제작된 Bi3.25La0.75Ti3O12 박막의 강유전 특성
저자명
김경태,김창일,권지운,심일운
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2002년|15권 6호|pp.486-491 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have fabricated $Bi_{3.25}La_{0.75}Ti_3O_12$ (BLT) thin films on the Pt/Ti/$SiO_2$/Si substrates using a metalorganic decomposition (MOD) method with annealing temperature from $550^{circ}C$ to $750^{circ}C$. The structural properties of BLT films examined by x-ray diffraction (XRD). From XRD analysis. BLT thin films show polycrystalline structure. The layered-perovskite phase was obtained by spin-on films at above $600^{circ}C$ for 1h. Scanning electron microscopy (SEM) showed uniform surface composed of rodlike grains. The grain size of BLT films increased with increasing annealing temperature. The BLT film annealed at $650^{circ}C$ was measured to have a dielectric constant of 279, dielectric loss of 1.85(%), remanent polarization of $25.66mu C/ extrm{cm}^2$, and coercive field of 84.75 kV/cm. The BLT thin films showed little polarization fatigue test up to $3.5{ imes}10^9$ bipolar cycling at 5 V and 100 kHz.