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마이크로파 소자응용을 위한 YBCO 박막의 두께 및 증착온도에 관한 특성연구
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  • 마이크로파 소자응용을 위한 YBCO 박막의 두께 및 증착온도에 관한 특성연구
저자명
이상렬,전희석,허창회,한경보,전창훈
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2002년|15권 6호|pp.539-542 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The effect of the superconducting film thickness on the surface resistance has been investigated. Superconducting YBCO thin films have been grown on MgO substrates by pulsed laser deposition. The dependence of the orientation of YBCO film on thickness has been investigated by X-ray diffraction technique. X-ray diffraction indicated that the film orientation was changed by increasing the film thickness and by changing the substrate temperature. The microwave properties of the films with mixed orientations of a-axis and c-axis will be reported for the applications of microwave devices.