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암모니아를 이용하여 분자선에피탁시 방법으로 AIN/Si 기판에 성장시킨 GaN의 구조적,광학적 특성
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  • 암모니아를 이용하여 분자선에피탁시 방법으로 AIN/Si 기판에 성장시킨 GaN의 구조적,광학적 특성
저자명
김경현,홍성의,강석준,이상현,김창수,김도진,한기평,백문철,Kim. Gyeong-Hyeon,Hong. Seong-Ui,Gang. Seok-Jun,Lee. Sang-Hyeon,Kim. Chang-Su,Kim. Do-Jin,Han. G
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2002년|12권 5호|pp.387-390 (4 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A new approach of using double buffer layers of AlN and GaN for growth of GaN films on Si has been undertaken via molecular beam epitaxy using ammonia. The first buffers layer of AlN was grown using $N_2$plasma and the second of GaN was grown using ammonia. The surface roughness of the grown films was investigated by atomic force microscope and was compared with the normally grown films on sapphire. Double crystal x-ray rocking curve and low temperature photoluminescence techniques were employed for structural and optical properties examination. Donor bound exciton peak at 3.481 eV with full width half maximum of 41 meV was observed at 13K.