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MOCVD 성장조건이 InN/GaN 다층박막의 발광세기에 미치는 영향
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  • MOCVD 성장조건이 InN/GaN 다층박막의 발광세기에 미치는 영향
저자명
김현수,이정주,정순영,이정용,Kim. Hyeon-Su,Lee. Jeong-Ju,Jeong. Sun-Yeong,Lee. Jeong-Yong
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2002년|12권 3호|pp.190-194 (5 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

InN/GaN multi-layers were grown by metalorganic chemical vapor deposition(MOCVD) in order to get the appropriate structure for an high power blue-green light emitting diode(LED), and effects of growth conditions (growth temperature, pressure, and $trimethylindium(TMIn)-NH_3-N_2; flow; rare)$ on the integrated photoluminescence (PL) intensity and PL peak energy in InN/GaN multi-layers were investigated. The optimized growth conditions with the highest integrated PL intensity for InN/GaN multi-layers were obtained: the growth temperature at $780^{circ}C$, the growth pressure at 325 Torr, the TMIn flow rate with 150 $mell$/min, the $NH_3$flow rate with 3.2 ι/min, and $N_2$ flow rate with 2 ι/min.