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MOVPE법으로 GaN위에 성장시킨 A11-xInxN 박막의 광학적 특성
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  • MOVPE법으로 GaN위에 성장시킨 A11-xInxN 박막의 광학적 특성
저자명
신동원,김성익,허증수,Sin. Dong-Won,Kim. Seong-Ik,Heo. Jeung-Su
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2002년|12권 2호|pp.112-116 (5 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We studied optical properties of $Al_{1-x}In_xN$ films. Films were grown on GaN by metalorganic vapor-phase epitaxy. The AlInN layer was grown on GaN layer with an $alpha$-Al$_2$O$_3$substrate. X-ray diffraction, optical absorption spectroscopy, photoluminescence(PL) and reflection high energy electron diffraction(RHEED) measurements of AlInN showed that the crystalline quality of $Al_{1-x}In_xN$ layer was improved around x=0.17, at which the lattice constant was matched to the GaN and the band gap of AlInN is larger than that of GaN.

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