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후열처리에 따른 실리콘 나노결정 박막의 광학적 특성 변화 연구
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  • 후열처리에 따른 실리콘 나노결정 박막의 광학적 특성 변화 연구
저자명
전경아,김종훈,최진백,이상렬,Jeon. Gyeong-A,Kim. Jong-Hun,Choe. Jin-Baek,Lee. Sang-Ryeol
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2002년|51권 6호|pp.236-239 (4 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Si nanocrystallites thin films on P-type (100) Si substrate have been fabricated by pulsed laser deposition using a Nd:YAG laser. After deposition, samples were annealed in several environmental gases ;It the temperature range of 400 to $800^{circ}C$ Hydrogen passivation was then performed in the forming gas (95 % $N_2$ + 5 % $H_2$) for 1 hr. Strong violet-indigo photoluminescence has been observed at room temperature on nitrogen ambient-annealed Si nanocrystallites. We report the variation of photoluminescence (PL) properties of Si thin films by changing annealing temperatures and by using hydrogen passivation. The results could suggest that the origin of violet-indigo PL should be related to the Quantum size effect of Si nanocrystallite