- MEVVA ion Source And Filtered Thin-Film Deposition System
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- ㆍ 저자명
- Liu. A.D.,Zhang. H.X.,Zhang. T.H.,Zhang. X.Y.,Wu. X.Y.,Zhang. S.J.,Li. Q.
- ㆍ 간행물명
- The Journal of Korean vacuum science & technology
- ㆍ 권/호정보
- 2002년|6권 2호|pp.55-57 (3 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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