- 저진공게이지 종합특성 평가장치 개발
- ㆍ 저자명
- 홍승수,정광화,신용현,임인태,박근섭,정원호
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2002년|11권 4호|pp.189-193 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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진공기술기반구축사업의 진공 측정기기 평가장치 구축사업으로 저진공($10^{-1}$Pa~$10^{5}$ Pa)게이지 종합특성 평가장치를 설계제작하였다. 이 장치를 이용하여 열전도형 게이지의 정확도, 직선성, 반복성, 기체감도, 그리고 장기 안정성 등에 대한 특성 평가를 수행하였다.
We have developed a characteristics evaluating system for low vacuum gauges with a project of basis of vacuum technology construction. By using this system, we also performed a characteristics evaluation as to the accuracy, linearity, repeatability, gas sensitivity, and long-term stability of thermal conductivity gauges.