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금속 기판 위에 성장한 탄소나노튜브 특성에 관한 연구
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  • 금속 기판 위에 성장한 탄소나노튜브 특성에 관한 연구
저자명
김현숙,박성렬,양지훈,문상현,박종윤,박래준
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
2002년|11권 4호|pp.256-260 (5 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Carbon nanotubes on metal(SUS304) substrates were synthesized by using micro-wave plasma-enhanced chemical vapor deposition at $650^{circ}C$ with gas mixture CH$_4$(11%) and H$_2$(89%). Their structure was investigated by scanning electron microscopy and transmission electron microscopy. Raman spectroscopy was also used to justify the structure and crystallinity of graphite sheets. High-resolution transmission electron microscopy images clearly showed carbon nanotubes to be multwalled. The measured turn-on field and current density obtained from I-V measurement were 4.4 V/$mu extrm{m}$ and $8.4 imes10^1mu extrm{A}/ extrm{cm}^2$, respectively.