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GaN/사파이어 구조에서의 표면탄성파 전단특성
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  • GaN/사파이어 구조에서의 표면탄성파 전단특성
저자명
최국현,김진용,김형준,정수진,이태근,김영진,Choi. Kook-Hyun,Kim. Jin-Yong,Kim. Hyeong-Joon,Chung. Su-Jin,Lee. Tae-Kun,Kim. Young-Jin
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2002년|12권 7호|pp.522-527 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

To investigate the SAW properties of GaN films on c-plane sapphire substrates, we carried out both the experimental measuring and theoretical calculation. The experimental characterization of SAW propagation properties was performed with a linear array of interdigital transducer (IDT) structures, while SAW velocities were calculated by matrix methods. HVPSAW mode with the propagation velocity over 10,000m/s and PSAW mode as well as GSAW could be observed in experimental determination. These results were verified by matching with the theoretical calculation.