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Crystallinity of $Pb(Nb_{0.04}Zr_{0.28}Ti_{0.68})O_{3}$ capacitors on ferroelectric properties
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  • Crystallinity of $Pb(Nb_{0.04}Zr_{0.28}Ti_{0.68})O_{3}$ capacitors on ferroelectric properties
  • Crystallinity of $Pb(Nb_{0.04}Zr_{0.28}Ti_{0.68})O_{3}$ capacitors on ferroelectric properties
저자명
Yang. Bee-Lyong
간행물명
한국결정성장학회지
권/호정보
2002년|12권 3호|pp.161-164 (4 pages)
발행정보
한국결정성장학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Polycrystalline and epitaxial heterostructure films of $La_{0.5}Sr_{0.5}CoO_{3}/Pb(Nb_{0.04}Zr_{0.28}Ti_{0.68})O_{3}/La_{0.5}Sr_{0.5}CoO_{3}$ (LSCO/PNZT/LSCO) capacitors were evaluated in terms of low voltage and high speed operation in high density memory, using TiN/Pt conducting barrier combination. Structural studies for a high density ferroelectric memory process flow, which requires the integration of conducting barrier layers to connect the drain of the pass-gate transistor to the bottom electrode of the ferroelectric stack, indicate complete phase purity (i.e. fully perovskite) in both epitaxial and polycrystalline materials. The polycrystalline capacitors show lower remnant polarization and coercive voltages. However, the retention, and high-speed characteristics are similar, indicating minimal influence of crystalline quality on the ferroelectric properties.