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A 32 by 32 Electroplated Metallic Micromirror Array
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  • A 32 by 32 Electroplated Metallic Micromirror Array
  • A 32 by 32 Electroplated Metallic Micromirror Array
저자명
Lee. Jeong-Bong
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2002년|2권 4호|pp.288-294 (7 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents the design, fabrication and characterization of a 32 by 32 electroplated micromirror array on a glass, a low cost substrate. Approaches taken in this work for the fabrication of micromachined mirror arrays include a line addressing scheme, a seamless array design for high fill factor, planarization techniques of polymeric interlayers, a high yield methodology for the removal of sacrificial polymeric interlayers, and low temperature and chemically safe fabrication techniques. The micromirror is fabricated by aluminum and the size of a single micromirror is 200 $mu extrm{m}{;}{ imes}200{;}mu extrm{m}$. Static deflection test of the micro-mirror has been carried out and pull-in voltage of 44V and releasing voltage of 30V was found.